Infos
Pioneer Series
Kontaktwinkelmessung
- Drehbarer Tisch für 300 mm (12") Wafer
- Automatische, softwaregesteuerte Tropenpositionierung
- Voll automatische Auswertung des Kontaktwinlels
- Einfache, schnelle Bedienung
- Messung des Kontaktwinkels und der Oberflächenenergie
- 2D und 3D Auswertung
Die Pioneer 300 Wafter Serie wurde speziell für die Messung an Wafern bis zu 300 mm Halbleiter Wafern konzipiert. Hauptanwendung ist die Überprüfung und die Qualitätskontrolle des Verarbeitungs- und Reinigungsprozesses. Die Serie liefert schnelle und geaue Ergbnisse bezüglich des Kontaktwinkels und der Oberflächenenergie. Die optishe Eiheit wir cumputergesteuert positioniert und gewährleistet dadurch die Kontrolle der kompletten Oberfläche. Der Bediener kann die Position der Tropfen und deren Messung frei in X,Y und Z Richtung wählen.
Der rotierende Tisch prädistiniert das System für Halbleiteranwendungen. Das geschlossene Gehäuste garantiert eine saubere Atmosphäre und vermeidet Kontamination durch organische Partikel.
| Specifications | Pioneer 300 |
|---|---|
| Maximale Probengröße: | 300 mm Wafer (4/6/8/12" wafer verfügbar) |
| Maximale Probendicke: | 10 mm |
| Zoom: | 6,4 fach |
| Fokus: | (Intern, ± 6 mm |
| Auflösung: | 768 x 576 NTSC, 16 Millionen Farben |
| Bewegungssteuerung: | Benutzerdefiniert (X- Y - Z Rotationssystem) |
| Tropfendosierung: | Automatisches Spritzensystem |
| Messbereich Kontaktwinkel: | 5 bis 180° |
| Beleuchtung: | Rücklicht LED System |
| Auswertemethoden: | Kontaktwinkel, Oberflächenenergie |
| Betriebssystem: | Windows XP, Windows 2000 |
